진공 시스템에서 다이어프램 펌프의 성능 특성 및 특수 응용
탄화수소가 없는 흡입실로 인해 다이어프램 펌프는 터보분자 펌프와 함께 백업 펌프로 특히 적합합니다. 2단계 다이어프램 펌프도 약 5 hPa의 최대 압력을 달성할 수 있습니다. 터보분자 펌프의 백업 펌프에는 이 정도면 충분합니다. 클린 진공은 특히 분석 및 연구개발 응용에 적합합니다. 가스 밸러스트가 없기 때문에 다이어프램 펌프는 수증기를 배출할 수 없습니다. 고진공 장비 벽에서 소량의 수증기가 흡착되더라도, 다이어프램 펌프의 최종 압력은 급격히 상승할 수 있습니다. 하지만 일부 다이어프램 펌프에는 특허받은 방식으로 작동하는 가스 밸러스트 밸브가 장착되어 있습니다. 이를 위해 가스가 2단계 다이어프램 펌프의 1단계와 2단계 연결 통로로 들어가게 허용되고, 이 통로는 작은 구멍을 통해 1단계의 흡입실에 연결됩니다.
수분이 더 많이 쌓이고 가스 밸러스트가 없는 다이어프램 펌프를 사용할 경우, 펌프 내에 다량의 응축수가 형성되는 것을 방지하기 위해 적절한 분리기나 냉각 트랩을 상류에 연결해야 합니다. 하지만 궁극적인 압박은 더 커질 것입니다.
다이어프램 펌프는 최종 압력, 펌핑 속도, 부식성 가스의 안정성에서 다릅니다. 이 유형의 펌프의 펌핑 속도는 3에서 160 l·min-1(0.25에서 9.6 m3·h-1) 사이입니다. 2단계 펌프는 4 hPa 미만의 최종 압력을 달성할 수 있고, 4단계 펌프는 0.5 hPa 미만의 최종 압력을 달성할 수 있습니다. 펌핑 속도와 도달 가능한 최종 압력은 전원 공급 주파수에 따라 달라집니다.
코팅된 다이어프램과 내식성 케이싱을 갖춘 내식성 가스 펌프는 부식성 가스를 흡입하는 데 적합합니다.
펌프의 명명 방식은 l · min-1은 펌핑 속도를 나타내고, 숫자는 펌프의 단계 수를 나타냅니다.
